Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　第３部　製造・材料　製造＆設計イノベーション　第３部　要素・技術〜製造・材料●ナノ材料　カーボン・ナノチューブをＬＳＩに導入　配線の材質劣化と遅延を解消
日経マイクロデバイス　第242号　2005.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第242号（2005.8.1）
ページ数	2ページ　（全2526字）
形式	PDFファイル形式　（241kb）
雑誌掲載位置	78〜79ページ目

粟野　祐二富士通研究所　ナノテクノロジー研究センター　２０１０年〜２０２０年の「ナノ材料」におけるイノベーションは，カーボン・ナノチューブ（ＣＮＴ）のＬＳＩへの導入と考える（図１）。ビア材料や配線材料をＣＮＴで置き換えたり，チャネル部にＣＮＴを利用したトランジスタを作製する。ＣＮＴの導入によって，断線や発熱といった配線の微細化に伴う故障要因を抑制できるのに加えて，配線遅延を減らしＬＳＩの動作速度を…