Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜日本の半導体産業に貢献したいＡＳＭＬ日本法人の会長に就任した中塚氏
日経マイクロデバイス 第261号 2007.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第261号（2007.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全376字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （931kb） |
| 雑誌掲載位置 | 93ページ目 |
オランダＡＳＭＬ社の日本法人であるエーエスエムエル・ジャパンは，同社取締役会長に中塚晴夫氏が就任したと発表した。中塚氏はこれまで，東芝半導体社副社長やアプライド・マテリアルズ・ジャパン副社長などを歴任してきた。同氏は，ＡＳＭＬを選んだ理由を「４５ｎｍや３２ｎｍでは技術的に難しい点が増えてくる。特に難しいのがリソグラフィだろう。一番難しいところで日本の半導体産業に貢献したいと思い，ＡＳＭＬの要請を…
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