Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 「セミコン・ジャパン２００６」特集〜スループットを３〜１０倍に改善
日経マイクロデバイス 第258号 2006.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第258号（2006.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全619字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （500kb） |
| 雑誌掲載位置 | 197ページ目 |
スループットを従来に比べて３〜１０倍に改善できるアレイ状ＴＥＧ（ｔｅｓｔ ｅｌｅｍｅｎｔ ｇｒｏｕｐ）向けパラメトリック・テスト・オプション（図６）。米Ａｇｉｌｅｎｔ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｉｎｃ．のテスター「４０７０」シリーズの外部拡張ポートに接続して使う。パラメトリック・テストとは，生産プロセスの状態を監視するためにウエーハ上のＴＥＧ内に配置されたトランジスタや抵抗・容量素子の電気特性を…
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