Special Feature インタビュー集〜●米KLA−Tencor Corp. 65nm向け比率が50%超に 液浸導入が飛躍のチャンス
日経マイクロデバイス 第258号 2006.12.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第258号(2006.12.1) |
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ページ数 | 1ページ (全830字) |
形式 | PDFファイル形式 (729kb) |
雑誌掲載位置 | 39ページ目 |
Richard P. Wallace 氏Chief Executive Officer 2006年は,65nm世代の量産ライン向けと,45nm世代の開発ライン向けの両方で検査装置事業を拡張できた。2006年当初の65nm向け事業比率は28%だったが,同年末には50%を超える。収益面では,期初の予測どおり売上高が20億米ドルを超えた。このうち,日本向けは5億4100万米ドルを占めた。 65nm以降の…
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