Ｓｐｅｃｉａｌ Ｆｅａｔｕｒｅ インタビュー集〜●キヤノン 露光装置の納期を半減 次は液浸デビュー果たす
日経マイクロデバイス 第258号 2006.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第258号（2006.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全816字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （729kb） |
| 雑誌掲載位置 | 38ページ目 |
市川 潤二 氏専務取締役 光学機器事業本部長 ２００６年の最大の成果は，露光装置の短納期化を達成したことである。この１年で納期をほぼ半減できた。２００６年は当初の生産販売計画を２０％も上回る需要があったが，決められた納期に対して１台も納入が遅れなかった。しかも，ユーザーに納めた装置は高い安定性で稼働している。これは信頼性への取り組みを強化してきた成果ともいえる。 液浸露光装置の技術開発に関しては，…
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