Ｓｐｅｃｉａｌ　Ｆｅａｔｕｒｅ　インタビュー集〜●ニコン　高速の新型ステージが完成　ＮＡ１．３の装置で勝負かける
日経マイクロデバイス　第258号　2006.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第258号（2006.12.1）
ページ数	1ページ　（全834字）
形式	PDFファイル形式　（729kb）
雑誌掲載位置	38ページ目

牛田　一雄　氏常務取締役　兼　上席執行役員　精機カンパニー　プレジデント　２００６年の最大の成果は，新たに開発した高スループットのステージ技術「タンデム・ステージ」が完成したことである。このステージ技術を搭載した最初の事例として，開口数（ＮＡ）１．０７の液浸露光装置「ＮＳＲ−Ｓ６０９Ｂ」を出荷した。新ステージを採用したため初期トラブルの解決にやや時間がかかったものの，納入先の量産ラインで無事立ち上…