Ｓｐｅｃｉａｌ　Ｆｅａｔｕｒｅ　インタビュー集〜●大日本スクリーン製造　塗布・現像事業を立て直し　新分野の開拓に注力
日経マイクロデバイス　第258号　2006.12.1

末武　隆成　氏取締役副会長　半導体機器カンパニー　カンパニー社長　２００６年は，主力の洗浄装置の売り上げがバッチ式，枚葉式ともに大きく伸びた。いずれも通年で対前年比２５〜３０％増を見込んでいる。この結果，市場シェアはバッチ式で５０％を超え，枚葉式で４０％半ばに高まる。　塗布・現像装置については，米Ａｐｐｌｉｅｄ　Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，　Ｉｎｃ．と合弁でＳＯＫＵＤＯを立ち上げ，事業再建への道筋をつけた…