Special Feature インタビュー集〜●オランダASML Holding NV NA1.2の液浸露光装置を 2006年末までに25台出荷
日経マイクロデバイス 第258号 2006.12.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第258号(2006.12.1) |
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ページ数 | 1ページ (全866字) |
形式 | PDFファイル形式 (729kb) |
雑誌掲載位置 | 37ページ目 |
Peter Jenkins 氏Vice President Marketing 2006年は,DRAMやフラッシュ・メモリーを中心に,液浸を含む露光装置全体の需要が好調だった。実際,この1年間で194台の露光装置を出荷し,2006年第1〜第3四半期の売上高は対前年同期比28%増の25億2900万ユーロに達した。第2,第3四半期に関しては売上高と受注額が過去最高を更新している。 中でも重要だったのが…
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