Cover Story Part2 MEMSセンサー,携帯電話機に大量搭載へ〜パッケージ技術(2)● “オールSi”で小型化実現
日経マイクロデバイス 第248号 2006.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第248号(2006.2.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2383字) |
形式 | PDFファイル形式 (613kb) |
雑誌掲載位置 | 40〜41ページ目 |
Henrik HansenデンマークSonion Horsens A/SSales Manager of Mobile Terminal ComponentsJacob PhilipsenデンマークSonion MEMSDirector われわれは,外形寸法が2.6mm×1.6mm×0.9mmという世界最小レベルのSiマイクを開発・生産しており,その小型化のための実現技術を中心に解説する。キャリア…
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