Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 「セミコン・ジャパン２００５」特集〜低接触抵抗を長期間維持できる
日経マイクロデバイス 第246号 2005.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第246号（2005.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全684字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （498kb） |
| 雑誌掲載位置 | 134ページ目 |
パッケージ後のＬＳＩの端子に対して，長期間にわたって低い接触抵抗でプロービングできるようにしたプローブ（図９）。被測定デバイスを１０００〜３０００個測定するごとに，専用のダミー・デバイスをプロービングし，このプロービング工程でプローブ先端をクリーニングする。プローブのクリーニングや交換のために，テスターを停止させることがなく，稼働率を高められる。プローブの形状は，既存の垂直プローブ（ボゴビン）と…
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