Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　「セミコン・ジャパン２００５」特集〜第８世代のガラス基板に対応
日経マイクロデバイス　第246号　2005.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第246号（2005.12.1）
ページ数	1ページ　（全625字）
形式	PDFファイル形式　（498kb）
雑誌掲載位置	135ページ目

　第８世代のマザー・ガラス基板（２２００ｍｍ×２４００ｍｍ）を高スループットで処理できる液晶パネル向け露光装置（図１２）。現時点で第８世代に対応できる露光装置は，製品としてはこれだけである。一般に大きなガラス基板ではスキャン露光の回数が増えるため，スループットが落ちる。高スループットを維持するためには，光学系を大型化して１回のスキャン露光で照射できるマスク幅を広げなくてはならない。しかし，単純に光…