Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　「セミコン・ジャパン２００５」特集〜騒音を抑えてガラス基板を洗浄
日経マイクロデバイス　第246号　2005.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第246号（2005.12.1）
ページ数	1ページ　（全612字）
形式	PDFファイル形式　（498kb）
雑誌掲載位置	135ページ目

　騒音を抑えながら，油汚れや切削時のゴミなどを取り除ける洗浄力を実現した超音波洗浄機（図１１）。液晶パネル向けガラス基板やハード・ディスク装置用の部品などの洗浄に使える。超音波洗浄機には，騒音は大きいが洗浄力の強い２６ｋ〜３８ｋＨｚ帯を使う製品と，騒音は小さいが洗浄力の弱い１００ｋＨｚ帯の製品がある。今回の超音波洗浄機は１００ｋＨｚ帯で，洗浄力を強化した。洗浄液の改質で洗浄槽内の液に鋭い共振を引き…