Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 「セミコン・ジャパン２００５」特集〜多層膜の検査感度を向上
日経マイクロデバイス 第246号 2005.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第246号（2005.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全597字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （498kb） |
| 雑誌掲載位置 | 132ページ目 |
多層膜を含むパターン付きウエーハを従来に比べて高い感度で検査できる明視野ウエーハ検査装置（図６）。露光時のパターン欠損やＣＤ（ｃｒｉｔｉｃａｌ ｄｉｍｅｎｓｉｏｎ）バラつき，ＳＴＩ（ｓｈａｌｌｏｗ ｔｒｅｎｃｈ ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）に埋め込んだ材料の空孔といった欠陥を３０ｎｍの分解能で検出できる。スループットも従来比で向上した。受光センサーを独自開発して欠陥の検出感度とスループットのトレード・オ…
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