Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 「セミコン・ジャパン２００５」特集〜レジストをあらかじめ塗布
日経マイクロデバイス 第246号 2005.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第246号（2005.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全585字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （498kb） |
| 雑誌掲載位置 | 131ページ目 |
レジストをあらかじめ塗布したＳｉウエーハ（図４）。塗布したのは，販売元の化薬マイクロケムがＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）向けに開発した粘性の高いレジスト（厚膜レジスト）の「ＳＵ−８ ３０００−ＮＯ２」である。ＭＥＭＳの製造プロセスでは，レジストを段差のある構造体に塗布してエッチング・マスクとして使うことがあるので，高い粘性のレジストを使う。このため，…
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