Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ セミコンジャパン特集〜分解能１．７μｍで造形可能
日経マイクロデバイス 第234号 2004.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第234号（2004.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全649字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （217kb） |
| 雑誌掲載位置 | 126ページ目 |
最小１．７μｍの分解能で，ｍｍオーダーの微小な３次元構造を形成できる３次元光造形装置（図１１）。紫外光を制御できる光学デバイスを使い，光硬化樹脂に紫外光を照射して所望の形状を作成する。マイクロ・アクチュエータ，ＤＮＡチップ，マイクロ・リアクタ，微小歯車などのＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスの試作に使える。光造形では，光硬化樹脂を層単位で硬化させ…
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