Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　Ｐａｒｔ２〜米Ｉｎｔｅｌが次世代メモリーに提言　「リソを超える微細化技術が必要」
日経マイクロデバイス　第224号　2004.2.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第224号（2004.2.1）
ページ数	10ページ　（全11209字）
形式	PDFファイル形式　（315kb）
雑誌掲載位置	30〜39ページ目

「リソグラフィ・インディペンデント」が，フラッシュ・メモリーの後を継ぐ新型メモリー開発における重要な条件となる。新型メモリーが市場で存在感を増す２０１０年前後，フラッシュのアキレス腱はリソグラフィ技術となっている可能性が高いからである。フラッシュに対する大容量化の要求が急速に高まり，そのペースに既存のリソグラフィ技術による微細化で追従することは難しくなっている。リソグラフィ技術に頼らない新たな「リ…