解説［ＬＳＩ製造］囲み〜枚葉スピン洗浄で薬液を大幅削減　ソニーが長崎と熊本で量産展開
日経マイクロデバイス　第216号　2003.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第216号（2003.6.1）
ページ数	1ページ　（全493字）
形式	PDFファイル形式　（416kb）
雑誌掲載位置	95ページ目

　薬品使用量を数十分の一にする技術「ＳＣＲＯＤ」をソニー・グループが開発，量産展開している４），注１）。回転するウエーハに室温のＯ３水と希ＨＦを交互に数秒ずつ吹き付ける技術であり，１９９０年代後半から装置メーカーの協力を得て開発した。「プレイステーション２（ＰＳ２）」用のＬＳＩを製造している長崎工場の２００ｍｍ量産ライン，ＣＣＤや液晶を生産している熊本工場の３００ｍｍ量産ラインで，今回の技術を活用…