解説［ＬＳＩ製造］オーストリアＳＥＺ社〜オーストリアＳＥＺ社● 枚葉化の加速へ，歩留まりを重視
日経マイクロデバイス 第216号 2003.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第216号（2003.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2385字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （416kb） |
| 雑誌掲載位置 | 100〜101ページ目 |
日本ＳＥＺプロセス開発部松井 淳 最先端プロセスにおいて，バッチ式から枚葉式への移行が加速している。特に配線工程（ＢＥＯＬ）では，純水・薬液などの消費量の大幅な低減と，それに伴う工場廃液設備負荷の低減が可能なことから，枚葉式が主流になっている。この枚葉式において，われわれは６７％のシェアを持つ。バッチ式並みのＣＯＯ（ｃｏｓｔ ｏｆ ｏｗｎｅｒｓｈｉｐ）を，マルチチャンバ化や高スループット化が可能な…
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