解説［ＬＳＩ製造］米ＦＳＩ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏａｌ社〜米ＦＳＩ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ社● プロセスの多様化に対応
日経マイクロデバイス 第216号 2003.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第216号（2003.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2330字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （416kb） |
| 雑誌掲載位置 | 98〜99ページ目 |
エム・エフエスアイ（ｍ・ＦＳＩ）企画部小林 徳弘 小規模工場への対応や新材料の導入を意識し，クロス・コンタミネーションの防止とプロセスの柔軟性を重視した装置を開発している。 小規模工場では，製造装置のスループットへの要求は小さくなり，装置の小型化や短ＴＡＴ（ｔｕｒｎ ａｒｏｕｎｄ ｔｉｍｅ）を重視するようになる。５０００枚／月の小規模ラインを構成するためには，単純に考えるとスループットと価格をいず…
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