解説［ＬＳＩ製造］大日本スクリーン製造〜大日本スクリーン製造（ＤＮＳ）●　バッチ式を主体に枚葉式にも対応
日経マイクロデバイス　第216号　2003.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第216号（2003.6.1）
ページ数	2ページ　（全2065字）
形式	PDFファイル形式　（416kb）
雑誌掲載位置	94〜95ページ目

大日本スクリーン製造半導体機器カンパニー企画部野口　裕美　多様化する要求に対し，量産性に優れたバッチ式ウエット洗浄装置を中心に対応してゆく。微細化に伴って配線材料は低抵抗化，層間絶縁膜は低誘電率（ｌｏｗ−ｋ）化しており，ＬＳＩの歩留まりを左右する前処理，後処理と呼ばれるウエット洗浄やウエット・エッチングの重要性が増している。新材料，ウエーハの大口径化により，ウエット洗浄工程に求められる要求は多岐に…