連載［マニュファクチャリング］〜チャンバ当たり年間５０万米ドル安くなる　プラズマ・エッチング・プロセス制御
日経マイクロデバイス　第212号　2003.2.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第212号（2003.2.1）
ページ数	3ページ　（全3928字）
形式	PDFファイル形式　（147kb）
雑誌掲載位置	137〜139ページ目

神経ネットワーク（ニューラル・ネットワーク）の概念を利用したプロセス制御をプラズマ・エッチングに適用することにより，技術者が行うのと同じようなプロセス制御が可能になる。この先進的なプロセス制御のユニークなところは，プロセス・パラメータを危険度に応じてランク付けし，技術者がより適切な判断を行うよう支援することにある。その結果として，装置のダウン・タイムの低減，実効的な処理能力の増加，運用コストの節約…