連載［マニュファクチャリング］ 囲み〜プロフェッショナルの目 最も地道な仕事を肩代わり
日経マイクロデバイス 第212号 2003.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第212号（2003.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全345字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （147kb） |
| 雑誌掲載位置 | 138ページ目 |
ＡＰＣの言葉を聞いて久しいが，残念ながらＬＳＩ生産ラインで十分にその機能を発揮しているとの声が聞こえてこない。基本は，解析し，実測値と比較・学習し，それに基づいて制御することにある。精度が不十分なためだろうか？ 一言でＡＰＣと言っても，個々の装置に関するものから，プロセス全体にわたるものまで多様である。また現象を十分に理解，記述したものからブラック・ボックスにしたまま解析しているものまである。 …
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