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日経マイクロデバイス　第198号　2001.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第198号（2001.12.1）
ページ数	6ページ　（全6287字）
形式	PDFファイル形式　（135kb）
雑誌掲載位置	131〜136ページ目

ＬＳＩ製造■「ＴＷＩＮＳＣＡＮ　ＡＴ１１００　ＡｒＦスキャナー」　７０ｎｍの解像度を達成したＡｒＦエキシマ・レーザー・スキャン露光装置（図１）。カタログ上では０．１μｍだが，解像度を追求した場合に実力値としてそこまで上がるという。解像度を向上するために，（１）開口数（ＮＡ）が０．７５の非球面プロジェクション・レンズの搭載，（２）紫外光を使用したマスク・アライメント機構の採用，（３）レンズとウエーハ…