特集　戦略〜体質改善進んだ日本勢　再び技術力勝負へ
日経マイクロデバイス　第198号　2001.12.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第198号（2001.12.1）
ページ数	9ページ　（全11523字）
形式	PDFファイル形式　（186kb）
雑誌掲載位置	122〜130ページ目

製造装置　検査・分析　ＬＳＩプロセス「３００ｍｍ市場の５０％のシェアを確保できる」。「コスト競争力での遅れを取り戻し，技術面で優位性を発揮できる体制が整った」。「２００２年に競合他社から受注を奪い返すメドが立ってきた」。１９９０年代を通じて，海外の製造装置メーカーに押される一方だった国内の半導体製造装置メーカーから，威勢の良い声が聞こえるようになってきた。製造装置の市況自体は２００２年になっても改…