特集　とびら〜復活の足掛かりつかむ　日本の半導体製造装置
日経マイクロデバイス　第198号　2001.12.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第198号（2001.12.1）
ページ数	1ページ　（全1114字）
形式	PDFファイル形式　（44kb）
雑誌掲載位置	121ページ目

日本の半導体製造装置メーカーが復活の足掛かりをつかんだ。製造装置の受注は２００２年になっても改善する気配はないが，このような環境下で「３００ｍｍ市場の５０％のシェアを確保できる」，「２００２年に競合他社から受注を奪い返いせるメドが立ってきた」といった力強い声が日本の製造装置メーカーから出始めた。この背景には，１９９０年後半からの各メーカーの取り組みがある。海外の製造装置メーカーに逆転を許した日本の…