特集 Ｐａｒｔ１〜投資効率が悪化しない 「ミニ・ファブ」を実現へ
日経マイクロデバイス 第181号 2000.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第181号（2000.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 8ページ （全9277字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （137kb） |
| 雑誌掲載位置 | 104〜111ページ目 |
工場 生産技術 システムＬＳＩ 方向 今後のＬＳＩの生産技術とプロセス技術は，小規模ラインの実現に向けて一新しなければならない。従来の１０００ロット／月の生産規模を１／１０に削減しても，投資効率が悪化しないようにする。 課題 投資効率が悪化しない小規模ラインの実現に当たって，処理能力やプロセス上の問題によって専用化している製造装置を，大きく変更していく必要がある。このような製造装置が投資額削減や投…
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