特集　第１部とびら〜既存の技術概念を　破壊する
日経マイクロデバイス　第181号　2000.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第181号（2000.7.1）
ページ数	1ページ　（全427字）
形式	PDFファイル形式　（20kb）
雑誌掲載位置	103ページ目

２０１５年に向けてＳｉ技術では過去の技術資産を覆してしまうほどの破壊的な技術革新が登場する。ＬＳＩ製造面では投資効率が悪化しない「ミニ・ファブ」によって，装置・プロセスが一気に変わる可能性が高い。デバイスは物理限界の克服に向け，新構造の提案が出る。回路面では微細化だけに依存しない技術が多数登場する。パッケージは高速対応を中心とした実装技術がシステム革新を先導する。（本誌）Ｐａｒｔ１●プロセス技術投…