ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ ＬＳＩ（ロジック）〜２周波励起技術の訴訟で 米ＴｅｇａｌがＴＥＬに勝訴 ＴＥＬ側はこれに反論
日経マイクロデバイス 第178号 2000.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第178号（2000.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全484字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （37kb） |
| 雑誌掲載位置 | 140ページ目 |
訴訟特許製造装置 米Ｔｅｇａｌ Ｃｏｒｐ．はエッチング装置の２周波励起技術に関する東京エレクトロン（ＴＥＬ）との訴訟で勝訴したと発表した。Ｔｅｇａｌ側は１９８０年代に基本特許を日米で取得しており，ＴＥＬが特許を侵害したとして米国で訴訟を起こしていた。今回の判決で２周波励起を使ったＴＥＬのエッチング装置の米国内での販売差し止めと，この裁判にかかった費用をＴＥＬが負担することが決まった。 この発表に対…
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