ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ ＬＳＩ（ロジック）〜ＳＯＩウエーハの量産に 向けた動きがキヤノンと 米ＳｉＧｅｎから相次ぐ
日経マイクロデバイス 第178号 2000.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第178号（2000.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全514字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （37kb） |
| 雑誌掲載位置 | 140ページ目 |
ＳＯＩウエーハ大口径化 ＬＳＩの低消費電力化，高速化を実現するＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ ｉｎｓｕｌａｔｏｒ）ウエーハの量産に向けた動きがキヤノンと米Ｓｉｌｉｃｏｎ Ｇｅｎｅｓｉｓ Ｃｏｒｐ．（ＳｉＧｅｎ）の２社から出た。 キヤノンは２０億円を投じてＳＯＩウエーハ「ＥＬＴＲＡＮ」の生産能力を現状の５倍に増強する。１５０ｍｍと２００ｍｍの２種類を合わせて１万枚／月の規模になる。同社平塚事業所内のラ…
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