ＮｅｗｓＬｅｔｔｅｒ ＬＳＩ（ロジック）〜世界最高の 格子分解能を持つ 電子顕微鏡が完成
日経マイクロデバイス 第178号 2000.4.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第178号（2000.4.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全520字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （37kb） |
| 雑誌掲載位置 | 141ページ目 |
顕微鏡検査装置研究開発 世界最高の格子分解能を持つ電子波干渉型の電子顕微鏡が完成した。Ａｕ薄膜を観察したところ，原子間隔より狭い４９．８ｐｍの結晶格子像を得た。この像は斜めから見た結晶格子に相当する。一般に格子分解能を高めるには電子の干渉性と輝度を高め，短波長化する必要がある。今回，電子の干渉性を高めるために電子顕微鏡の電子加速管・電子銃，電子銃制御用電源，高電圧発生装置の三つをそれぞれ分離，隔離…
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