Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜スループットを２０％向上
日経マイクロデバイス 第270号 2007.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第270号（2007.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全593字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （543kb） |
| 雑誌掲載位置 | 150ページ目 |
従来機種よりスループットを２０％向上したスキャン露光装置（図２）。通常１台のステージを露光ステージと計測ステージに分けたニコン独自の「タンデムステージ」を採用することで，ステージを軽量化し，移動時の加速度や最大速度を高めた。ＮＳＲ−Ｓ３１０Ｆは設計ルール６５ｎｍ以下の量産向けのＡｒＦレーザーを光源とするスキャナ，ＮＳＲ−Ｓ２１０Ｄは同１１０ｎｍ以下に対応したＫｒＦレーザーを光源とするスキャナであ…
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