Ｃｏｖｅｒ　Ｓｔｏｒｙ　Ｐａｒｔ３〜インフラへの影響　微細化後を見据える装置メーカーキー・ワードは「３次元」と「異分野」
日経マイクロデバイス　第270号　2007.12.1

ＬＳＩメーカーだけでなく，製造装置メーカーも微細化の次を見据えた研究開発を活発化し始めた。国内外の製造装置メーカー１０社のトップ・インタビューでは，次世代技術のキー・ワードとして「３次元」を挙げるトップが多かった。「３次元」時代にも各社は現在の強みを生かそうと，研究開発を加速させている。太陽電池や有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）など異分野への進出では，既に成果が出始めた。将来技術…