Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ２ 製造・工場 Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ，Ｓａｆｅｔｙ ａｎｄ Ｈｅａｌｔｈ〜環境配慮型の技術開発を提言省エネや安全対策を促進
日経マイクロデバイス 第270号 2007.12.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第270号（2007.12.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1284字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （186kb） |
| 雑誌掲載位置 | 143ページ目 |
製造・工場Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ， Ｓａｆｅｔｙ ａｎｄ ＨｅａｌｔｈＪｉｍ Ｊｅｗｅｔｔ， 米Ｉｎｔｅｌ Ｃｏｒｐ． ２００７年版ＩＴＲＳの「Ｅｎｖｉｒｏｎｍｅｎｔ， Ｓａｆｅｔｙ ａｎｄ Ｈｅａｌｔｈ（ＥＳＨ）」の章では，半導体工場の環境対策と，技術者や周辺住民の安全・健康を保護するための取り組みをまとめている。ここに来て関心が高まっている気候変動や有害化学物質への対策も取り上げた。 本章では…
記事の購入（ダウンロード）
購入には会員登録が必要です 会員登録はこちら
価格 330円（税込）
他のIDで購入する
G-Search ミッケ！は雑誌を記事ごとに販売するサービスです。
この記事は「1ページ（全1284字）」です。ご購入の前に記事の内容と文字数をお確かめください。
（注）特集のトビラ、タイトルページなど、図案が中心のページもございます。
Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ２ プロセス・実装 Ａｓｓｅｍｂｌｙ ＆ Ｐａｃｋａｇｉｎｇ〜ＷＬＰやＳｉ貫通で集積度を向上インフラの整備が進化のカギ
Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ２ 製造・工場 Ｆａｃｔｏｒｙ Ｉｎｔｅｇｒａｔｉｏｎ〜生産効率を最大限に高め３０％／年のコスト削減を維持
Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ３〜インフラへの影響 微細化後を見据える装置メーカーキー・ワードは「３次元」と「異分野」
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜３００ｍｍウエーハを６５０枚／時で処理
Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ〜スループットを２０％向上
