Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜メタル膜をインクジェットで常温形成する技術
日経マイクロデバイス　第267号　2007.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第267号（2007.9.1）
ページ数	1ページ　（全323字）
形式	PDFファイル形式　（299kb）
雑誌掲載位置	103ページ目

　産業技術総合研究所は，Ａｇなどのメタル膜を常温で形成できる技術を開発，「第１８回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展」でパネル展示した。Ａｇインクをインクジェット技術で対象物に衝突させて，その部分に成膜する。例えば曲面の筐体に電気配線やアンテナを形成することができる。産総研の先進製造プロセス研究部門グループでは，ＰＺＴなどの圧電素子材料などを高圧で基板に衝突させることでＰＺＴ膜を高品質に形成できる技術を開…