Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳの量産向け深堀りエッチング装置４チャンバで生産性を向上
日経マイクロデバイス 第267号 2007.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第267号（2007.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全363字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （299kb） |
| 雑誌掲載位置 | 103ページ目 |
キヤノンマーケティングジャパンは，最大チャンバ数を従来品の１から４に増やした仏Ａｌｃａｔｅｌ Ｍｉｃｒｏ Ｍａｃｈｉｎｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍｓ社の深堀り用エッチング装置「ＭＳ４２００／ＭＳ３２００」を発売した。量産段階へと進むＭＥＭＳデバイス・メーカーが増えてきたことから，チャンバ数を増やして生産性を高めた。「ＭＳ４２００」の最大チャンバ数は４で，「ＭＳ３２００」は同３である。ＭＥＭＳ分野以外でも…
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