Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳで波長可変とした通信用レーザー発光デバイス
日経マイクロデバイス 第267号 2007.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第267号（2007.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全321字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （299kb） |
| 雑誌掲載位置 | 103ページ目 |
横河電機は，面発光型レーザー（ＶＣＳＥＬ）の波長をＭＥＭＳ構造によって変化できるようにする技術を開発，「第１８回マイクロマシン／ＭＥＭＳ展」でパネル展示した。ＩｎＰによるＶＣＳＥＬチップと，波長可変用のＭＥＭＳ部を集積したＳｉチップを，Ａｕバンプ接合技術によって積層する。今回のデバイスでは，Ｓｉチップ上に凹面鏡を形成した多層反射膜を形成して，これとＶＣＳＥＬチップの発光部とにギャップを設ける。波…
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