Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　画素数を１．５倍に増やし，検査時間を短縮〜画素数を１．５倍に増やし，検査時間を短縮
日経マイクロデバイス　第263号　2007.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第263号（2007.5.1）
ページ数	1ページ　（全523字）
形式	PDFファイル形式　（1081kb）
雑誌掲載位置	133ページ目

　１６００万画素のＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ　ｃｏｕｐｌｅｄ　ｄｅｖｉｃｅ）を搭載した検査工程向けデジタル・カメラ（図２）。半導体製造プロセスや液晶パネル製造プロセスの欠陥検査などに利用できる。従来の検査用デジタル・カメラは最大１１００万画素だった。画素数を１６００万画素に増やすことで，従来の約１．５倍の領域を認識し，検査工程全体の効率を約３０％向上できるようにした。画素構成は４８７２×３２４８で，３フ…