Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ１ 囲み 低コスト化を担う，ＬＳＩ環境工場〜製造装置メーカーも省エネへ既存装置のオプション部品を提供
日経マイクロデバイス 第263号 2007.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第263号（2007.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1097字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （2923kb） |
| 雑誌掲載位置 | 32ページ目 |
ＬＳＩメーカーが工場で進める消費エネルギー削減に合わせて，製造装置メーカーも動き出した。 米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｉｎｃ．（ＡＭＡＴ）は，「Ｐｒｏｄｕｃｔ Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔｓ」と呼ぶオプション部品を２００１年から提供し始めた。現在までに売り上げは大きく伸びているという。 Ｐｒｏｄｕｃｔ Ｅｎｈａｎｃｅｍｅｎｔｓは製造装置に付加するハードウェアやソフトウェアで，現時点で約６０…
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