Ｃｏｖｅｒ Ｓｔｏｒｙ Ｐａｒｔ２ 低コスト化を担う，ＬＳＩ環境工場〜Ｐａｒｔ２ 装置・設備の省エネ 製造装置の待機エネルギー半減へ可視化で工場設備を最適設計
日経マイクロデバイス 第263号 2007.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第263号（2007.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 6ページ （全6513字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （994kb） |
| 雑誌掲載位置 | 38〜43ページ目 |
ＬＳＩ工場の省エネルギーに向けて，工場設備や製造装置のエネルギー消費量の詳細な解析が進んでいる。製造装置では，プロセス時とほぼ同じエネルギーを，待機時に消費していることが分かってきた。工場設備に関しては，ＬＳＩ工場のエネルギー消費量を可視化することで，設備設計時の見積もり精度を高めて初期投資を抑えることができる可能性がある。製造装置の待機状態に関する検討結果と，可視化手法による工場設備の最適化につ…
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