Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜生体との連携を狙うＭＥＭＳデバイスが続々
日経マイクロデバイス 第261号 2007.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第261号（2007.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 3ページ （全4023字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （1823kb） |
| 雑誌掲載位置 | 82〜84ページ目 |
ヒトや昆虫など生体と組み合わせて使うＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスの開発が活発化している。２００７年１月に神戸市で開催された国際会議 「２０ｔｈ ＩＥＥＥ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｎ Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ（ＭＥＭＳ２００７）」では，このようなＭＥＭＳデバイス関連の発表が相…
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