Inside MEMS〜新戦略へ舵を切る独Bosch民生進出,SiGeプロセス導入
日経マイクロデバイス 第261号 2007.3.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第261号(2007.3.1) |
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ページ数 | 7ページ (全8282字) |
形式 | PDFファイル形式 (1152kb) |
雑誌掲載位置 | 65〜71ページ目 |
独Robert Bosch GmbHが,MEMS(micro electro mechanical systems)分野で,新戦略を明らかにした。まず主力の自動車に加え,民生機器の市場へ本格参入する。同社の加速度センサーが携帯電話機メーカーに採用される見通しである。さらに,同社がSi主体で製造してきたMEMSデバイスの製造手法として,今後無線通信など民生機器分野で利用される可能性が高いSiGeプロ…
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