Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜ニコン，ＮＡ１．３の液浸露光装置で　３９ｎｍを解像，ＤＯＦは９００ｎｍ
日経マイクロデバイス　第259号　2007.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第259号（2007.1.1）
ページ数	1ページ　（全344字）
形式	PDFファイル形式　（257kb）
雑誌掲載位置	122ページ目

　ニコンは，開口数（ＮＡ）１．３０の液浸ＡｒＦ露光装置「ＮＳＲ−Ｓ６１０Ｃ」を使い，ダイポール照明で３９ｎｍの線幅／線間隔パターンを解像できたことを「セミコン・ジャパン２００６」で示した。現像液可溶型のトップコートを使った場合，焦点深度（ＤＯＦ）は９００ｎｍと広い。ＮＳＲ−Ｓ６１０Ｃは同社としては新しく反射屈折光学系を採用しているが，今回の結像結果から技術開発が順調に進んでいることを示した。現像液…