Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜ニコンがスループットを１．５倍に高めた　ｉ線露光装置を開発　位置合わせ精度も３０％向上
日経マイクロデバイス　第259号　2007.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第259号（2007.1.1）
ページ数	1ページ　（全403字）
形式	PDFファイル形式　（257kb）
雑誌掲載位置	122ページ目

　ニコンは，スループットを従来比で５４％高めたｉ線露光装置「ＮＳＲ−ＳＦ１５０」を開発した。３００ｍｍウエーハを１８０枚／時で処理できる。解像度は２８０ｎｍ，開口数（ＮＡ）は０．６２，露光領域は２６ｍｍ×３３ｍｍである。２００７年第２四半期に販売を開始する。スループットの向上は，ステージを軽量化して移動速度を高めたり，ウエーハの処理間隔を短縮することで実現した。スループットを高めるとステージの位置…