Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　べベル部を純水で高速に洗浄〜ベベル部を純水で高速に洗浄　ウエーハ洗浄装置「ＳＳ−３０００ＢＣ」
日経マイクロデバイス　第257号　2006.11.1

　ウエーハのベベル部（端面および隣接する傾斜部分）を純水で高速に洗浄できる枚葉式ウエーハ洗浄装置（図１）。今後の液浸露光では液浸水がベベル部に重なるので，ベベル部のゴミや汚れがウエーハ表面に付着してしまう恐れがある。このため，ベベル部の洗浄が強く求められている。従来の洗浄技術では，ベベル部の汚れを研磨するか，エッチングする手法が多かった。しかし，これらの手法ではスループットが低いほか，スラリーや薬…