Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜坂口電熱　５０ｍｍウエーハのｐ型ＺｎＯ成長に使える　レーザー平面加熱装置を発売
日経マイクロデバイス　第256号　2006.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第256号（2006.10.1）
ページ数	1ページ　（全487字）
形式	PDFファイル形式　（255kb）
雑誌掲載位置	100ページ目

　坂口電熱は，５０ｍｍウエーハのｐ型ＺｎＯ結晶成長に使えるレーザー平面加熱装置「ＥｘＬＡＳＥＲ」を９月上旬から発売する。波長８０８ｎｍ，出力２ｋＷの半導体レーザー光を５０ｍｍ角に広げて照射する。レーザー加熱方式なので昇降温の速度が速く，４秒で１００℃から１０００℃に昇温，７秒で１０００℃から４００℃に降温できる。今回の装置は，数年前にＺｎＯのｐｎ接合で青色ＬＥＤ発光を実現した東北大学教授の川崎雅司…