Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＬＳＩ］〜ウエーハ・エッジ検査装置 ４５ｎｍから半導体メーカーが活用 急速な需要増に装置メーカーも対応
日経マイクロデバイス 第256号 2006.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第256号（2006.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全568字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （255kb） |
| 雑誌掲載位置 | 100ページ目 |
Ｓｉウエーハのエッジ検査装置は，これまでＳｉウエーハ・メーカーが主に使ってきたが，ここへ来て４５ｎｍ世代以降のＬＳＩを開発する半導体メーカーでも活用するようになってきた。半導体メーカーからの新しい要求に対応するため，エッジ検査装置を手がけるレイテックスは，クラス１００およびクラス１０００のクリーン・ルームを持つ新社屋に移転した。新社屋１階の半分を占める３５０ｍ２のクリーン・ルームでは新規装置の開…
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