Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 処理時間を１／１０に短縮〜処理時間を１／１０に短縮
日経マイクロデバイス 第252号 2006.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第252号（2006.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全615字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （186kb） |
| 雑誌掲載位置 | 113ページ目 |
常温ウエーハ接合装置「ＭＷＢ−０６Ａ」 処理時間を約１／１０に短縮できるウエーハ接合装置（図２）。従来の陽極接合装置では３〜４時間かかっていたウエーハの接合処理を２０分に短縮できる。三菱重工業が産業技術総合研究所と共同開発した。常温ウエーハ接合とは，Ａｒビームで表面を活性化した２枚のウエーハを接触させて常温で接合する技術である。従来の陽極接合で問題だった加熱や冷却の時間がかからないので，高スループ…
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