Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　駆動速度を３倍に〜駆動速度を３倍に
日経マイクロデバイス　第252号　2006.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第252号（2006.6.1）
ページ数	1ページ　（全571字）
形式	PDFファイル形式　（186kb）
雑誌掲載位置	114ページ目

「クリーン環境用高速直動アクチュエータ」　駆動速度を従来の３倍に高めた，ＬＳＩや液晶パネルの製造工程などのクリーン環境向けの直動駆動装置（図３）。クリーン・ルーム内で使用する搬送用ロボットなどに使う。１２００ｍｍ／秒の速さで部品などを搬送しても，粒子径０．３μｍ以上のチリが１立方フィート（約０．０２８ｍ３）の空気中に３０個以下のクラス１０の環境を維持できるようにした。駆動部分を密閉した上で，内部で…