Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　低圧プローブで測定精度向上〜低圧プローブで測定精度向上
日経マイクロデバイス　第252号　2006.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第252号（2006.6.1）
ページ数	1ページ　（全658字）
形式	PDFファイル形式　（186kb）
雑誌掲載位置	113ページ目

ＭＥＭＳ加速度センサー向け検査装置「ＴＥＭＥＯＮ」　ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）技術による加速度センサーをウエーハ・レベルで高精度に検査できる装置（図１）。デバイスに加速度を自動的に与え，その際に得られる信号から良否判定する。ウエーハからチップを切り出す前に検査するため，不良品をパッケージするコストをムダにしない。　高精度の測定が可能になったのは，ウ…