Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　布からの発じんを抑制〜布からの発じんを抑制
日経マイクロデバイス　第252号　2006.6.1

「クリーンルーム用導電性ワイパー」　発じんを抑えた導電性ふき取り布（図４）。ＬＳＩ工場などのクリーン・ルームで，微小なチリのふき取り用に繰り返し使用できる。一般にクリーン・ルームで使用するふき取り布は，ふき取り時に静電気が発生してチリが再付着するのを防ぐために，導電性を持たせている。従来，導電糸を織り込む方式や導電性ポリマーをコーティングする方式があった。しかし，導電糸を織り込む方式は，導電糸の切…